产品参数/ Product parameter
机台无震动或刚性需求，但重量很重，高架地板无法承受，必须再钢板之下做钢构补强
产品实物图片：
产品选型：
产品特点：钢构或底部钢构上部RC
产品优点：1000倍以下的光学显微镜3μm制程的光学检测设备及光学平板印刷设备 (包括步进机-steppers) 均可适用此一规范
产品详情：
- 设备机台有荷重需求或设备脚位高于700kg/c㎡，高架地板无法承载重量，需采用钢结构基础座进行承载
- 机台无震动或刚性需求，但重量很重，即每平方大于1600KG,必须在钢板之下作钢构补强
-设备机台有荷重需求或设备脚位高于700kg/c㎡修改为：设备机台有荷重需求或设备脚位高于700kg/in2
钢制原料：
- 精确的尺寸与基座精密度
- 光滑表面
- 安装较容易
产品尺寸：
产品技术参数：
| 钢板厚度 | 平整度 | 尺寸公差 | 烤漆厚度 | 最大位准
（u inch/seo） | 制程最小解析度
（um） |
|---|
| ≥8.0mm | ≤1.5mm/㎡ | ≤±1mm | ≥100μm | 1000 | 3 |
适合机台：有微振要求
运用行业：应用于CMP，WET，DF，Track等区域工艺机台设备
