产品参数/ Product parameter
机台本身有振动与刚性需求，或是对位移极为敏感的机台，以水泥基座来达到最佳隔震效果
产品实物图片：
产品选型：
产品特点：
- RC型水泥机构
- 高稳定度／高精确度，以确保机台本身不受任何外界干扰
- 防震及充分安全的生产环境
- 最精确的生产制程使您及您的客户无后顾之忧
- 安全生产以节省更多后续维修成本
产品优点：此准则为1μm制程的光学检测设备以及光学平板印刷设备的一良好设备规范标准
产品详情：
- 机台有震动与刚性需求，或是对于位移极为敏感的机台，以水泥基座来达到最佳的隔震效果
- 机台有严苛的振动规范及刚性需求，采用高刚性RC结构达到最佳隔震
- 工艺机台设备本身对振动与刚性需求较高，采用高刚性RC结构达到最佳个阵效果，RC结构表面使用洁净室许可的环氧树脂进行处理，光洁度满足洁净室标准，硬度达到700KG/cm2或以上
-硬度达到700KG/cm2或以上修改为：硬度达到700KG/in2或以上
特制复合混凝土原料：
- 专为高精准 EUV特制
- 高精细度
- 超高强度混凝土 (11000-15000 psi)制式
产品尺寸：
产品技术参数：
| 平整度 | 尺寸公差 | 环氧厚度 | 钢度 | 最大位准
（u inch/seo） | 制程最小解析度
（um） |
|---|
| ≤1.5mm/㎡ | ≤±1mm | ≥3 mm | ≥1.0E+08 N/m | 500 | 1 |
适合机台：有微震要求
运用行业：应用于PH，MET等区域工艺机台设备
