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VC-E防微震基座

产品参数/ Product parameter

VC-E系列主动式基座

产品实物图片:
产品选型:
产品特点:
- RC型水泥机构
- 高稳定度/高精确度,以确保机台本身不受任何外界干扰
- 防震及充分安全的生产环境
- 最精确的生产制程使您及您的客户无后顾之忧
- 安全生产以节省更多后续维修成本
产品优点:在大部分的情况下此一标准不易达到。通常是一些雷射为主,行程较长、聚集点较小的设备才会要求此一振动环境
产品详情:
- 机台有严格的振动规范或设备安装环境地点振动大于设备需求规范,采用主动式隔震设备达到最佳隔震
- 机台有震动需求,没有具体微震等级且机台本身重量不重,以独立脚支撑设备重量并与高架地板作隔离,减少外界对其影响
- 机台有严苛的振动规范及刚性需求,采用高刚性RC结构达到最佳隔震
- 工艺机台设备本身对振动与刚性需求较高,采用高刚性RC结构达到最佳个阵效果,RC结构表面使用洁净室许可的环氧树脂进行处理,光洁度满足洁净室标准,满足设备的要求
特制复合混凝土原料:
- 专为高精准 EUV特制
- 高精细度
- 超高强度混凝土 (11000-15000 psi)制式
产品尺寸:无
产品技术参数:
最大位准(u inch/seo)制程最小解析度(um)
1250.1
适合机台:微振规范VC-E、F、G
运用行业:应用于抗震与刚性要求比较高的工艺机台设备
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